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ȸ»ç¸í : ¿¥Æ÷½Ã½º (ÁÖ)
¼³¸³ÀÏ : 2000.06.16
ÀÚº»±Ý : 64¹é¸¸¿ø
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·¹ÀÌÀú ±¤ ¼¾¼­ / °èÃøºÐ¾ß ³ª³ë °èÃø±â ºÐ¾ß
 - ·¹ÀÌÀú ½ºÄ³´× ¹ÙÀ̺ê·Î ¹ÌÅÍ (LSV-D)
 - ·¹ÀÌÀú ÀÎÅÍÆä·Î ¹ÌÅÍ (interferometer)
 - ·¹ÀÌÀú º¯À§/À§Ä¡/°Å¸®/µÎ²² ¼¾¼­ (HIPOPS)
 - ·¹ÀÌÀú ¼Óµµ ÃøÁ¤±â (Laser Velocity meter)

 - °³ÀÎ¿ë ¿øÀÚ Çö¹Ì°æ (Personal-AFM)
 - ³ª³ë Positioning stage
 - Á¤ÀüÇü ¼¾¼­ (Capacitive Sensor)
 

Á¤¹Ð À̼۽ºÅ×ÀÌÁö ºÐ¾ß ÁÖ¹® Á¦ÀÛ Á¦Ç°
 - »ê¾÷¿ë Á¤¹ÐÀÚµ¿À̼۽ºÅ×ÀÌÁö (SAP)
 - ºñÁ¢ÃË½Ä 3Â÷¿ø Çü»ó ÃøÁ¤ ÀåÄ¡
 - Çö¹Ì°æ¿ë ÀÚµ¿À̼۽ºÅ×ÀÌÁö (PAP)
 - Áøµ¿ ¸ðÅÍ Æ¯¼º ½ÃÇè±â (VMT)
 - ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ µÎ²² ÃøÁ¤ ¼¾¼­
 - ¼ÒÇü ÀÎÀå±â ÀÚµ¿È­ ½Ã½ºÅÛ

 


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