원자 현미경은 눈으로 볼 수 없는 나노 세계를 아주 미세한 팁을 사용하여 물체 표면의 형상, 단단한 정도, 전기, 자기적 특성을 측정할 수 있는 계측기로 머리카락의 굵기의 1십 만분의 1의 크기를 측정할 수 있는 정밀도를 가지고 있다. 배율이 최고 수천만 배로서 개개의 원자를 관찰할 수 있어 미세 재료분석, 3차원 형상, 표면계측, 결함분석 등 다양한 분야에 적용할 수 있다. 나노 산업 분야의 기술혁신을 위해 1실험실내 1대의 원자현미경 보급을 목표로 하고 있다.

Z Motorized Stage
Auto Approach to Samples
Z axis motorized stage makes the probe
tip approach to the sample automatically
and makes it ready to image the sample.

CCD
Easy Monitoring of the Tip Location
High resolution CCD camera is used to
monitoor the tip location on the sample.

Z Nano Positioning Scanner
Fast and Accurate Scanning
A PZT or a voice coil motor regulates the
contact, non-contact, and other application
modes for AFM imaging,repectively.

Probe Tip
Easy Installation of the Probe Tip
The use of piezo-resistive sensor mounted
to the probe tip removes the problem of the
conventional difficulty of the optical alignment.

XY Nano Positioning Scanner
A New Voice Coil Driven Scannner
A voice coil motor is used for positioning the
nano scanner to have easy and accurate
control as well as simple mechanical
configuration without the hysteresis effect.

XY Motorized Stage (옵션)
Fast Sample Moving and
Loading/Unloading
2 Axis motorized stages are used to move the
sample to a pasition of interest and pulls out
the XY nano positioning scanner quickly for
fast sample loading/unloading.