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Home > 제품소개 > 나노 계측기 분야

원자 현미경은 눈으로 볼 수 없는 나노 세계를 아주 미세한 팁을 사용하여 물체 표면의 형상, 단단한 정도, 전기, 자기적 특성을 측정할 수 있는 계측기로 머리카락의 굵기의 1십 만분의 1의 크기를 측정할 수 있는 정밀도를 가지고 있다. 배율이 최고 수천만 배로서 개개의 원자를 관찰할 수 있어 미세 재료분석, 3차원 형상, 표면계측, 결함분석 등 다양한 분야에 적용할 수 있다. 나노 산업 분야의 기술혁신을 위해 1실험실내 1대의 원자현미경 보급을 목표로 하고 있다.

· 고 분해능과 넓은 작동영역
    - XY nano positioning scanner : VCM, 100X100㎛, 200X200㎛ (option), 0.1nm PZT 80X80㎛ (option)
    - Z nano positioning scanner : PZT, 10㎛, 0.1nm
  · 용이한 팁 교환 및 정렬
  · 고속 자동 팁 접근
  · CCD를 이용한 팁 모니터링
  · 빠른 시편 탑재 및 이송
  · 기본모델과 확장모델

· Standard model
   - Basic application modes : contact, non-contact, force modulation(option), phase detection(option)
   - High resolution nano scanner : XY axis(0.1㎚ resolution), Z axis(0.1㎚resolution)
   - Tip monitoring CCD
   - Image display S/W
   - Image analysis S/W
   - System control S/W

· Extended model
   - Standard model with advanced application modes : EFM, MFM
   - High resolution nano scanner : XY axis(0.1㎚ resolution), Z axis(0.05㎚resolution)


3D-Standard grating (10㎛x10㎛, 15㎚ depth)	3D-Standard grating (10㎛x10㎛, 15㎚ depth)	3D-Vicinal Si bunching (0.1㎛x0.1㎛, 12㎚ depth)	3D-AI projection pattern (5㎛x5㎛, 110㎚ depth)

Vicinal Si bunching (5㎛x5㎛, 12㎚ depth)	3D-Profile of test gration (5㎛x5㎛, 110㎚ depth)	2D-Poly ethylene latex (1㎛x1㎛, 200㎚ depth)	3D-Poly ethylene latex (1㎛x1㎛, 200㎚ depth)

3D-Profile of test grationg (10㎛x10㎛, 15㎚ depth)	Membrane non-contact mode (5㎛x5㎛)	2D-AI projection pattern (5㎛x5㎛)	3D-AI projection pattern (5㎛x5㎛)

Spec.	Components	Performance
Mechanical	XY Nano Positioning Scanner	⊙ Single module parallel kinematics flexure stage with PZT (option) - Sample size : up to 50㎜ × 50㎜, 10㎜ thick - Sample mass : up to 500gr - Scanning area : 100 × 100㎛, 200 × 200㎛ (option) - PZT 80 x 80㎛ (option) - Resolution : ＜ 0.1 nm - Capacitive Sensor (option) - Manual stage travel : 30㎜ × 30㎜ (option)
Mechanical	Z Nano Positioning Scanner	⊙ guide flexure stage with PZT - Scanning range : 10 ㎛ - Resolution : ＜ 0.1 nm
Electrical		⊙ Power supply : 220V AC ⊙ DSP Multi TMS320 LF2812 - 16 bit ADC, 4 channels - 16 bit gain controlled DAC, 3 channels - USB interface

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