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Home > 제품소개 > 나노 계측기 분야

원자 현미경은 눈으로 볼 수 없는 나노 세계를 아주 미세한 팁을 사용하여 물체 표면의 형상, 단단한 정도, 전기, 자기적 특성을 측정할 수 있는 계측기로 머리카락의 굵기의 1십 만분의 1의 크기를 측정할 수 있는 정밀도를 가지고 있다. 배율이 최고 수천만 배로서 개개의 원자를 관찰할 수 있어 미세 재료분석, 3차원 형상, 표면계측, 결함분석 등 다양한 분야에 적용할 수 있다. 나노 산업 분야의 기술혁신을 위해 1실험실내 1대의 원자현미경 보급을 목표로 하고 있다.

1) 높은 S/N 비율을 갖는 광센서
- 고분해능을 위한 광경로 증폭 및 저잡음 신호처리
2) 고속 자동 팁 접근 방식(Auto-approach)
- 팁을 측정하고자 하는 Sample까지 자동으로 이동 시켜 측정을 용이하게 한다.
3) 고배율 CCD광학계를 이용한 캔티레버 팁 및 측정위치 모니터링
- 팁의 유(有) ∙ 무(無)와 시편과의 상대적 위치 및 시편내 측정위치를 확인 할 수 있다.
4) XY축 나노 스캐너- 리니어 코일 모터와 PZT를 이용한 구동방식으로 수 나노급의 정밀도를
유지하면서 정밀고속제어를 수행한다.
Scanning Area: 100 x 100㎛ (XY), 200 x 200㎛ (XY)
5) Z축 나노 스캐너
- PZT방식을 이용한 정밀 고속제어를 수행한다. Working range : 10㎛
6) 이미지 분석 및 처리 소프트웨어(Image analysis & processing S/W)
7) 시스템 제어 소프트웨어(System control S/W)

1) NX-I Model
- AFM basic module
- Basic application mode : contact, non-contact
- AFM scanner controller : XY, Z nano positioning scanner
- Sample monitoring CCD- Image analysis & processing S/W
- System control S/W
- 100 x 100㎛ or 200 x 200㎛(option) XY nano positioning scanner
- Cantilever tip with a piezo resistive sensor
- 0.3㎚ mechanical resolution

NX-II Model
- AFM Basic module
- Extended application modes(options) : force modulation, LFM, phase modulation, etc
- AFM scanner controller : XY, Z nano positioning scanner
- Tip & sample monitoring high magnification CCD- Image analysis & processing S/W
- System control S/W
- 100 x 100㎛ or 200 x 200㎛ (option) XY nano positioning scanner
- Cantilever tip with an optical sensor - 0.03㎚ mechanical resolution

Spec.	Components	Performance
Mechanical	XY Nano Positioning Scanner	⊙ Single module parallel kinematics flexure stage (VCM type or PZT type) - Sample size : up to 50㎜ × 50㎜, 9㎜ thick - Sample mass : up to 700gr - Scanning area : 100 × 100㎛, 200 × 200㎛ (option) - PZT 70 x 70㎛ (option) - Resolution : ＜ 0.1 nm(NX-I model) ＜ 0.1 nm(NX-II model) - Capacitive Sensor (option)
	XY motorized stage(option)	- Scanning area : 30 x 30㎜ , 50 x 50㎜
	XY manual stage(option)	- Manual stage travel : ±2.5~12.5㎜
	Z Nano Positioning Scanner	⊙ PZT driven single module flexure scanner - Scanning range : 10㎛ - Resolution : ＜0.3㎚ (NX-I model) ＜0.03㎚ (NX-II model)
Electrical	Sensor	⊙ Piezo-resistive type(NX-I model) or Optical sensor(NX-II model)
Electrical	Controller	⊙ Signal processing part : TMS320 LF2812(DSP) ⊙ Controller part : AT94K10L and MSC1211Y3 (Micro controller) - High speed 16bit ADC & DAC, 2 channels for control and Imaging. - 16 bit DAC, 4 channels for XY nano scanner - 12 bit DAC, 4 channels for accessory input - USB or RS-232 interface
Software	System control software Image display & analysis Software
SIZE	AFM main body	286 (L) x 300 (W) x 290㎜ (H)
	Acoustic enclosure	313 (L) x 300 (W) x 370㎜ (H)
	Controller	415 (L) x 250 (W) x 95㎜ (H)

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