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Home > 제품소개 > 나노 계측기 분야
선형 응답 특성을 가지는 VCM 구동기를 사용하여 넓은 영역 (200 x 200 ㎛) 에서 고정밀도로 시편을 이송할 수 있다. 또한 저렴한 가격으로 기존의 나노 포지셔닝 스테이지들과 동급의 성능을 제공한다.
SPM (Scanning Probe Micropy) 등 다양한 분야에서 나노급 시편 이송 및 스캐닝에 사용이 가능하다.


* 제품개요 및 용도

 ㆍFlexure hinge 구조를 사용한 나노급 정밀 이송 장치
 ㆍVCM(Voice Coil Motor)를 이용하여 기존의 제품보다 더 넓은
   이송 영역 제공
 ㆍ나노 정밀도 이송
 ㆍSPM(Scanning Probe Microscopy) or AFM 등의 시편 이송
 ㆍ광학용 초고정밀 이송
 ㆍLithography and Micro manufacturing


* Specifications
Resolution < 0.1 ㎚
Bandwidth 100 Hz (open loop) 200 Hz (closedloop)
Repeatability < 1 ㎛
Scanning area 100 x 100 ㎛, 200 x 200 ㎛
Load weight 700 gr
Size Various dimension

 
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