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Home > 제품소개 > 나노 계측기 분야
선형 응답 특성을 가지는 VCM, PZT 구동기를 사용하여 넓은 영역에서 고정밀도로 시편을 이용할 수 있다. 또한 저렴한 가격으로 기존의 나노 포지셔닝 스테이지들과 동급의 성능을 제공한다. SPM(Scanning Probe Micropy)등 다양한 분야에서 나노급 시편 이송 및 스캐닝에 사용이 가능하다.






 ㆍLeaf spring 구조를 이용한 나노급 정밀이송장치
 ㆍPZT model (고속용)과 VCM model (넓은 작업영역용)
 ㆍ공진 및 부공진이 없는 진동저감특성 (주파수 특성 참조)
 ㆍ다양한 크기 및 자유도 XY (2자유도), XYZ (3자유도)



Resolution < 0.1nm
Bandwidth 300Hz (PZT, open loop)
Repeatability < 0.05nm
Scanning area 0 ~ 100 x 100㎛ (PZT type)
0 ~ 200 x 200㎛ (VCM type)
Load weight 700grf
Size Various dimension

 

 
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