* 제품특징

ㆍ기존 광학현미경에 공초점 현미경 모듈만 장착하여 사용가능
ㆍ칼라 CCD를 이용한 육안관찰
ㆍVCM or PZT stage 사용가능
ㆍ자동 3차원 스캐닝
ㆍAFM 모듈을 삽입할 수 있는 확장구조
  ※ AFM 모듈은 별도 구매

* 스캔성능

* Specification

 ㆍXY Nano Positioning Scanner
   - Single module parallel flexure stage with
      VCM(Voive coil motor) or PZT
   - Sample size : up to 50mm, 10mm thick
   - Sample mass : up to 700grf
   - Scanning area : 100x100㎛ (VCM)
                             200x200㎛ (VCM, optional),
                             80x80㎛ (PZT, optional)
   - Resolution : < 0.5nm

 ㆍConfocal module
   - Field of view : 100x100㎛
   - Z axis measurement size : up to 10mm
   - Z axis resolution : 33nm
   - Lateral axis resolution : 650nm
   - Frame memory
      pixel : 256x256, 512x512 (16bit)
   - Optical lens : 50x (N.A 0.45),
                         100x (N.A 0.85, optional)
   - Red 650nm LD (Max output 1mw, class 2)